1、超聲波強度。即單位面積聲功率。超聲清洗的效果好壞取決于空化作用，而空化作用的產生與超聲波強度有關。在通常情況下，單位面積聲功率超過0.3W/cm 2（輸出電功率一般大于1W）水溶液就能產生空化。在一定范圍內，超聲波強度越大，空化作用越明顯，也就說清洗效果越好。但太高的功率密度會由于空化作用太強而引起對工件的表面侵蝕使制件受損。另外當功率密度增加到一定程度就會出現飽和現象，清洗效果反而會下降。產生空化的功率密度臨界點與頻率還有關系，頻率越高，產生空化的功率密度越大，例如16--20KHz時，功率密度臨界點大約為0.3--0.4W/cm2；26--30KHz時，功率密度就選為0.5--0.8W/cm2；30--40KHz時，功率密度應選為1--1.2W/cm2。 　　
      2、超聲波頻率。超聲波振動頻率對于清洗效果有很大影響，這是由于超聲波頻率對于空化作用影響很大的緣故。實踐證明同等功率情況下，低頻時易于激發空化。即頻率越低，空化作用效果越好，但噪音越大。反之，頻率越高，空化作用效果越差，噪音越小。 　　
      3、清洗液溫度。清洗的溫度是影響清洗速度重要因素，適當的提高清洗液的溫度，可增強空化能力，縮短清洗時間，但超過一定的溫度，由于蒸汽壓力相應增加反而使空化作用降低，因此必須保持一定的溫度范圍，如水溶劑清洗液一般在45℃左右，三氯烯清洗液在75℃左右。選擇清洗液必須考慮選擇的清洗液粘度要小，表面張力要小以利于清洗液的空化